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发布时间:2020-04-30 02:14:41
退火炉
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。
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热释光
热释光(英语:Thermoluminescence, TL)效应,有时也被译作热致光、热发光,是一种冷发光现象:一些晶体(例如矿物质)在被加热时,原来吸收并储存在晶格缺陷中的电磁辐射或其他电离辐射会以光子的形式释放出来。该现象不可与黑体辐射(也可称为热发光)混淆。
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能响的标定
不同的热释光磷光体在不同的能量区间响应是不同的(特征发光峰),即不同的能量区间训一数率有别,但在实际应用时,辐射场的能谱各自不同,为使用和评价方便需进行能响刻度,使其归1化,即无论在任何能量下,读数值是一致的,因而一些热释光元件在投放使用前要做能量补偿,用一些金属材料,根据需要制成不同形状的能响补偿器,削去突起峰,将发光曲线拉直,使其适用于任何辐射场的测量需要。
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